基板传送装置.pdfVIP

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本实用新型涉及一种基板传送装置,包括水平设置的横梁,以及纵向设置于所述横梁的两端的支撑梁,所述横梁上悬挂有基板载具,所述基板载具位于两个所述支撑梁之间,且所述基板载具与两个所述支撑梁所在的平面平行,所述基板载具包括沿水平方向相对设置的两个侧壁,每个所述支撑梁上设置有辅助夹持结构,所述辅助夹持结构用于在所述基板传送装置运动过程中夹持所述基板载具的所述侧壁上。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214298240 U (45)授权公告日 2021.09.28 (21)申请号 202022841195.6 (22)申请日 2020.11.30 (73)专利权人 京东方科技集团股份有限公司

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