侧储存舱、设备前端模块及用于处理基板的方法.pdfVIP

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2023-07-22 发布于四川
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侧储存舱、设备前端模块及用于处理基板的方法.pdf

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本文描述了包括侧储存舱的电子装置处理系统。一个电子装置处理系统具有：侧储存舱，所述侧储存舱具有经配置成接收侧储存容器的第一腔室；具有面板开口的面板；面板经配置成耦接在侧储存容器和设备前端模块之间；在第一腔室中接收的侧储存容器；及排气管道，所述排气管道经配置成耦接至侧储存容器，所述侧储存容器经接收并延伸至第一腔室的外部。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116469814 A (43)申请公布日 2023.07.21 (21)申请号 202310343983.8 (74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理