一种惰性气体分离处理装置.pdfVIP

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2023-07-23 发布于四川
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一种惰性气体分离处理装置.pdf

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本实用新型公开了一种惰性气体分离处理装置，包括废气储存罐，所述废气储存罐一侧设有加热干燥器，所述加热干燥器一侧设有初级过滤系统，所述初级过滤系统一侧设有第一缓冲气罐，所述第一缓冲气罐一侧设有低压高温加热器，所述低压高温加热器一侧设有分子筛吸附泵。本实用新型通过设有加热干燥器把废气中水汽除去，设有初级过滤系统把颗粒杂质除去，分子筛吸附泵把废气中惰性气体氩和活性气体除去，钛升华泵将废气中剩余活性气体除去，制冷机把废气中除氦气以外的惰性气体凝结成晶体，然后通过晶体过滤器过滤分离，之后通过分子膜过滤器过

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214287472 U (45)授权公告日 2021.09.28 (21)申请号 202023261563.6 B01D 50/00 (2006.01)