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本实用新型涉及一种超薄型石英晶圆片的刻蚀装置，包括石英晶片装载篮，石英晶片装载篮由圆柱轴一圆柱轴二、圆柱轴三、圆柱轴四和圆柱轴五组成，圆柱轴一、圆柱轴二、圆柱轴三、圆柱轴四和圆柱轴五的对应位置均设置有可以放置石英晶片的圆凹槽，圆柱轴一、圆柱轴二、圆柱轴三、圆柱轴四和圆柱轴五的两端分别通过固定架连接，两个固定架的顶端通过安装支架连接，石英晶片装载篮下方设置的腐蚀液搅拌机构，石英晶片装载篮和腐蚀液搅拌机构均位于圆筒内，圆筒放置于密封罐内，密封罐的底部设置有旋转磁铁。本实用新型具体有对该设备结构紧促，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214313137 U
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202120158353.X
(22)申请日 2021.01.21
(73)专利权人 随州润晶电子科技有限公司
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