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一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构.pdfVIP

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  • 2023-07-24 发布于四川
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一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构.pdf

    本实用新型涉及显影机技术领域，尤其涉及一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其包括内部挖空的圆盘式冷板本体；呈均匀分布并依次电性连接固定于所述冷板本体底部的制冷片；固定设于所述冷板本体底部的用于控制制冷片通电的开关；呈均匀分布并可活动设于所述冷板本体上的硅片定位凸块；用于检测感应所述冷板本体温度的温感探头，所述温感探头经温感压块固定设于所述冷板本体的底部，其不仅结构简单，所需成本低，温度感应精准，且不会影响硅片的冷却效果，保证硅片生产质量，可以满足市场需求。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214311293 U (45)授权公告日 2021.09.28 (21)申请号 202120439531.6 (22)申请日 2021.03.01 (73)专利权人 江西维易尔半导体设备有限公司

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