高导热金刚石膜微波衰减材料的研究.docxVIP

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高导热金刚石膜微波衰减材料的研究 高导热金刚石膜微波衰减材料的研究 摘要:本文针对高频电磁波衰减材料的需求,提出了研制高导热金刚石膜微波衰减材料的方案。通过比较不同加工工艺,选取最适合的表面微加工工艺进行了金刚石膜的制备。采用扫描电子显微镜(SEM)观察金刚石膜表面形貌,并用原子力显微镜(AFM)对膜表面进行精细观察。分别用热传导仪和量热仪测试了金刚石膜的导电性和热性能。最后,使用微波快速扫描系统测量了不同厚度和不同介电常数的金刚石膜的微波衰减性能,并与其他材料进行了比较。实验结果表明,研制出的金刚石膜微波衰减材料具有良好的微波衰减性能,可作为高频电磁波屏蔽材料的良好选择。 关键词:金刚石

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