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本实用新型公开了一种太阳能电池片激光刻蚀装置及其加工系统，属于太阳能电池片加工技术领域。本实用新型包括用于承载太阳能电池片的工作台、用于控制激光光路从而对太阳能电池片进行刻蚀的激光组件，以及除尘机构；所述除尘机构包括除尘匣、吸尘嘴，所述除尘匣罩在工作台的上表面，该除尘匣的一侧壁与吸尘嘴连通，除尘匣上相对的另一侧壁上设有吹气管。本实用新型通过进气管吹气，吸尘嘴吸气，两者共同配合将激光刻蚀过程中产生的粉尘除去，同时除尘匣的设计防止了粉尘的扩散，避免加工过程产生的粉尘四散飞扬的现象发生。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209886905 U
(45)授权公告日
2020.01.03
(21)申请号 20192
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