一种基于反射式单全息光栅的位移测量系统.pdfVIP

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2023-07-25 发布于四川
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一种基于反射式单全息光栅的位移测量系统.pdf

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本实用新型公开了一种基于反射式单全息光栅的位移测量系统，属于精密位移测量系统领域，主要用于精密机械加工行业，包括激光器、准直透镜、光隔离器、反射镜、分光棱镜、偏振光分光棱镜、光电探测器、高密度全息光栅、1/4波片、信号调理系统、数据采集卡和计算机；所述激光器发出光束经过一系列相位及偏振态的改变，使光电探测器接收到光强信号的变化，通过信号调理系统后传输给数据采集卡，传输给计算机显示微小位移量。该实用新型采用高密度全息光栅，利用光栅栅距作为测量基准，测量精度高，减小了由于非正交及光栅定位不准带来的位

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209894118 U (45)授权公告日 2020.01.03 (21)申请号 20192