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半导体产品制造过程中氮气吹扫实现方法及电子设备.pdfVIP

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  • 2023-07-26 发布于四川
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半导体产品制造过程中氮气吹扫实现方法及电子设备.pdf

    本公开提供一种半导体产品制造过程中氮气吹扫实现方法及电子设备。该方法包括：从半导体产品的制程工艺机台中设置第一初始站点和第一结束站点；获取处于第一初始站点和第一结束站点之间的第一区间内的第一生产批次；从第一生产批次中确定尚未在第一区间内的制程工艺机台上执行制程工艺的第一候选生产批次；从第一候选生产批次中确定第一目标生产批次；控制第一目标氮气吹扫站点对第一目标生产批次进行氮气吹扫，可以实现氮气吹扫智能化和提高半导体产品的产能。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116487303 A (43)申请公布日 2023.07.25 (21)申请号 202310741117.4 (22)申请日 2023.06.21 (71)申请人 长鑫存储技术有限公司 地址 23

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