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一种柔性芯片拾取设备.pdfVIP

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  • 2023-07-26 发布于四川
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一种柔性芯片拾取设备.pdf

    一种柔性芯片拾取设备，用于从超薄柔性晶圆拾取柔性芯片，包括用于放置超薄柔性晶圆的拾取台、用于顶起柔性芯片的顶针、用于拾取柔性芯片的取片装置，顶针上部具有平台。本实用新型避免了在拾取过程中柔性芯片因受力不均极易发生碎片、无法剥离等问题，提高了制造柔性芯片的良率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209896039 U (45)授权公告日 2020.01.03 (21)申请号 20192

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