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- 2023-07-26 发布于四川
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本发明提供一种微机电系统谐振器，微机电系统谐振器包括至少一个振动单元和若干个电极，振动单元包括呈环形的振动主体，若干个电极包括设置在振动主体内的内圈电极和设置在振动主体外侧的外圈电极，各电极直接与基衬底固定连接且与设置于基衬底上的外接触点电性连接。本发明将电极直接与基衬底进行固定，省略了传统的支撑结构的设计，从而可以降低工艺复杂度，减小电极应力；而且相对于绝缘的支撑结构而言，空气或真空具有较小的介电常数，在省略支撑结构的情况下，本申请能够有效降低寄生电容。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116488609 A
(43)申请公布日 2023.07.25
(21)申请号 202310731993.9
(22)申请日 2023.06.20
(71)申请人 麦斯塔微电子（深圳）有限公司
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