传感器原理与应用第八章 光电传感器.pptVIP

2．莫尔条纹形成 把光栅常数 W 相等的两光栅尺相对叠合在一起，并使两光栅尺栅条之间保持很小的夹角β，如图8－30（a）所示，在与栅条近乎垂直的方向出现明暗相间的条纹，称之为莫尔条纹。图中在a－a线上的两光栅尺重合，光线可从其缝隙中透过，形成亮带；在b－b线上，两光栅尺彼此错开，挡住光线通过，形成暗带。 图8－30（a） 莫尔条纹的形成 第六十二页，共九十九页，2022年，8月28日 由图8－30（b）可求出莫尔条纹的间距BH与光栅常数的关系为 由图8－30（b）还可求出α=β/ 2 ，由于角很小，即莫尔条纹的方向与x方向夹角很小，因而莫尔条纹的方向近乎垂直于直光栅尺的栅条。 （8－1） 图8－30（b）莫尔条纹的间距 第六十三页，共九十九页，2022年，8月28日 3．莫尔条纹的主要特性 （1）莫尔条纹的间距对光栅常数W 具有放大作用 由式（8－1）可知，由于形成莫尔条纹的两光栅尺的夹角β1rad ，即BH等于1/ β 倍的W。例如，当W=0.02mm，β=0.01rad时，则BH=2mm，将W放大了100倍。 （2）莫尔条纹具有消除光栅尺局部缺陷引起的误差 由于光栅尺在制作时工艺的分散性，难免有的光栅尺的栅条或栅条间距存在着局部缺陷，但这些缺陷不会引起莫尔条纹的误差。因为在测量时，光电元件上接收到的光信号，是透过众多栅条形成亮带的光信号，光栅尺的局部缺陷对亮带透光量影响极小。 （3）莫尔条纹的移动大小和方向可以反映两光栅尺相对移动大小和方向 由图8－30可知，当固定斜光栅尺、左右移动直光栅尺时，莫尔条纹则作上下移动。若被测体跟随直光栅尺移动，则可根据莫尔条纹移动的大小和方向，判断被测体移动的大小和方向。 第六十四页，共九十九页，2022年，8月28日 二、光栅传感器的组成 根据莫尔条纹特性制作的光栅位移传感器，按光路形成方式可分为两大类，即反射式光栅传感器和透射式光栅传感器。 1．透射式光栅传感器 图8－31是透射式光栅传感器原理图。 图8－31 透射式光栅传感器图 第六十五页，共九十九页，2022年，8月28日 （2）透镜的作用是把光源发出的光变换成平行光束，垂直投射到主光栅上。 （3）主光栅又称标尺光栅，它有固定的光栅常数W、亮条宽度n和暗条宽度m，通常,测位移时，被测体保持与主光栅相同的位移大小和方向。 （1）光源常用钨丝灯泡或砷化镓发光二极管，钨丝灯泡有较大的输出功率，较宽的工作温度范围（-40℃～130℃），但使用寿命短，要定期更换；砷化镓发光二极管输出功率低，工作温度范围（－66℃～100℃）也略小，但其与光敏晶体管组合比钨丝灯泡与光敏晶体管组合转换效率高（约30%），且响应速度快（约2μs），可使光源工作在触发状态，以减小功耗和热耗散。 第六十六页，共九十九页，2022年，8月28日 （4）指示光栅比主光栅短得多，通常具有与主光栅相同的光栅常数和亮、暗条宽度。测位移时，指示光栅不动，主光栅移动。 （5）光电元件常用光电池或光敏晶体管，在光电元件输出端常接放大器，以获得尽可能大的信号输出，以提高抗干扰能力。 2．反射式光栅传感器 图8－32是反射式光栅传感器原理图。光源发射的光，经聚光镜和物镜后形成平行光束，以一定的角度穿过指示光栅、射向主光栅。这里的主光栅不形成透射光，照射到主光栅上的光产生反射光后与指示光栅形成莫尔条纹，此莫尔条纹光再经反射镜反射、物镜组聚焦后投射到光电元件上，以实现位移的测量。 第六十七页，共九十九页，2022年，8月28日 8－32 反射式光栅传感器 第六十八页，共九十九页，2022年，8月28日 三、辨向原理 利用莫尔条纹测量位移时，由单个光电元件接收的莫尔条纹光信号，只能是随莫尔条纹移动而强弱变化的光信号，这种光强变化不能反映莫尔条纹的移动方向。为了辨别莫尔条纹移动方向，至少需要两个光电元件接收莫尔条纹光信号，如图8－33（a）所示。在相距1/4莫尔条纹间距BH上分别安装一个光电元件1和2，当主光栅移动时，透过莫尔条纹的光照射到两光电元件上，两光电元件将产生相位差为л/2的电信号。透过莫尔条纹的光理论上是三角波，但由于光的衍射作用，其结果照射到光电元件上的光波接近正弦波，因而光电元件输出的电压u1和u2是相差л/2的正弦波。图8－33（b）是辨向电路。 第六十九页，共九十九页，2022年，8月28日 （a）两光电元件 （b）辨向电路 图8