大会报告 - 联瑞新材曹家凯：球形二氧化硅生产技术与应用现状.docxVIP

PAGE / NUMPAGES 大会报告联瑞新材曹家凯：球形二氧化硅生产技术与应用现状 球形二氧化硅是指颗粒个体呈球形，重要成分为二氧化硅的无定形石英粉体材料，一般要求SiO2含量98.5%，Fe2O3含量＜10010—6，Al2O3含量＜300010—6，球化率90%。 目前，球形二氧化硅的制备方法重要有火焰熔融法、等离子加热炉法、化学合成法、水解法等。 由于具有高介电、耐热耐湿耐腐蚀、高填充量、低膨胀、低应力、低杂质、低摩擦系数和低价格等优越性能，球形二氧化硅广泛应用于大规模集成电路封装中覆铜板以及环氧塑封料填料、航空航天、精细化工和日用化妆品等高新技术领域。 依照我国半导体集成电路与器件