《电子工业用气体 氟氮混合气》.pdfVIP

ICS 71.100.20 CCS G86 CPCIF 中国石油和化学工业联合会团体标准 T/CPCIF XXXX—XXXX 电子工业用气体 氟氮混合气 Gas for electronic-mixed gases of fluorine-nitrogen （征求意见稿） XXXX - XX - XX 发布 XXXX - XX - XX 实施 中国石油和化学工业联合会 发 布 T/CPCIF XXXX—XXXX 电子工业用气体 氟氮混合气 1 范围 本标准规定了电子工业用气体氟氮混合气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和 贮存。 本标准适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟，与氮气混合配制而成的电子工业 用气体氟氮混合气体，该产品主要用于半导体行业。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB/T 5099.4 钢质无缝气瓶 第4部分：不锈钢无缝钢瓶 GB/T 6681 气体化工产品采样通则 GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB/T 13004 钢质无缝气瓶定期检验与评定 GB/T 14194 压缩气体气瓶充装规定 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB/T 15382 气瓶阀通用技术要求 GB/T 16804 气瓶警示标签 GB/T 26251 氟和氟氮混合气 GB/T 26571 特种气体储存期规范 GB/T 27550 气瓶充装站安全技术条件 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 分类和标记 分类 电子工业用气体氟氮混合气根据下游应用领域的不同分为以下两类： Ⅰ类：主要用于面板、半导体、光伏行业； Ⅱ类：主要用于农药、汽车、医用包装。 标记 按照产品名称、类型、氟气的含量（体积分数）进行如下标记： 示例：电子工业用气体 氟氮混合气 FN- Ⅰ-20 氟气的含量（体积分数，%） 产品分类 氟气与氮气 1 T/CPCIF XXXX—XXXX 5 技术要求 电子工业用气体氟氮混合气的技术要求应符合表1的规定。 表1 技术要求 指标 项目 FN-Ⅰ-20 FN-Ⅰ-10 FN-Ⅱ-20 FN-Ⅱ-10 氟（F ）含量（体积分数）/10-2 20±0.5