射频式测铜仪及基板厚度检测与自动修正系统.pdfVIP

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2023-07-28 发布于四川
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射频式测铜仪及基板厚度检测与自动修正系统.pdf

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本实用新型是一种射频式测铜仪及基板厚度检测与自动修正系统，蚀刻工艺系统包含一射频式测铜仪及一预蚀刻装置。射频式测铜仪包含有多个感测器；各感测器能放出及接收射频，且该多个感测器的射频的涵盖范围相互重叠且足以横跨用以蚀刻的基板的两端。射频式测铜仪扫描基板后将数据传送至预蚀刻装置进行补偿喷洒，借以修正厚度及均匀性异常处。借此，本实用新型即可逐一且完整地扫描每一块基板的所有表面，其所得出的表面镀铜的厚度或表面镀铜厚度的均匀性非常精确，且所需要的检测时间短，并且在得到数据之后可以即时的进行预蚀刻予以修正，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209923434 U (45)授权公告日 2020.01.10 (21)申请号 20182