JC_T 181-2011半导体用透明石英玻璃器件.pdf

ICS 81. 040. 30Q 35JC备案号：34407—2012中华人民共和国建材行业标准.IC/T 181-2011代替.JC/T 181—1981(1996)半导体用透明石英玻璃器件Transparent quartz glass devices for semiconductor2012-07-01 实施2011-12-20 发布中华人民共和国工业和信息化部发布 JC/T 181-2011前本标准按照GB/T 1.1一2009给出的规则起草。本标准代替JC/T 181—1981（1996）《QSY、DSY透明石英玻璃仪器》。与JC/T181--1981（1996)相比，除编辑性修改外主要技术变化如下：-标准名称改为《半导体用透明石英玻璃器件》；增加了术语和定义（见第3章)；增加了分类和标记（见第4章）。修改了材料要求（见第5章，1996年版的第1章）；增加了规格尺寸及尺寸偏差要求（见6.1)；修改了外观质量要求（见6.2，1996年版的第3章）；修改了应力要求（见6.3，1956年版的第2章)；增加了试验方法（见第？章）：增加了检验规则（见第8章)；增加了对标志、包装、运输和贮存的要求（见第9章）。本标准由中国建筑材料联合会提出。本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会（SAC/TC447）归口。本标准主要起草单位：中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院。本标准主要起草人：吴洁、杨晓会、刘坚。本标准所代替标准的历次版本发布情况为：JC/T 181—1973、JC/T 181—1981(1996)。 JC/T 181--2011半导体用透明石英玻璃器件1范围本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶和透明石英清洗缸等。其他用途的透明石英玻璃器件可参照本标准执行。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。JC/T 597--2011半导体用透明石英玻璃管JC/T2064—2011半导体用透明石英玻璃棒3术语和定义JC/T 597--2011界定的术语和定义适用于本文件。4分类和标记4.1分类按用途分为太阳能级透明石英玻璃器件（T级）和电子级透明石英玻璃器件（D级）。4.2 标记产品按分类(T或D)、名称、规格、生产批号和标准编号的序号标记。示例：符合JC/T181-2011，外径为305mm，长度为2000mm，生产批号电子级透明石英玻璃扩散管标记为：5 材料5.1透明石英玻璃器件所用石英管、石英棒应符合 JC/T 597--2011及 JC/T 2064--2011中对应的T级或D级产品的要求。5.2透明石英玻璃器件所用石英板应无肉眼可见的气泡、气线、划痕等外观缺陷，杂质元素含量应符合 JC/T 597一2011中对应的T级或D级产品的要求。1 JC/T 181—20116要求6.1规格尺寸及尺寸偏差由供需双方商定。6.2外观质量6.2.1所有接口的焊点应结实、牢固，接缝应平滑、无堆料、无变形。6.2.2不允许有析晶、炸裂、云雾、色斑、水迹、脏物；掀痕应无明显凸凹不平、光滑平整。6.2.3在平台上放置不应有明显歪斜、晃动，外形应均匀对称。6.2.4　磨口不允许有亮面。6.3　应力透明石英玻璃器件在应力仪中观察只允许呈现均匀紫红色。6.4　磨口密封性透明石英玻璃器件盛水后不渗出。7试验方法7.1规格尺寸及尺寸偏差采用分辨率不低于被测参数允许公差的三分之一的仪器或设备。7.2外观质量在自然光下，采用目测检查。7.3 应力将产品平放在干涉色为紫红色的应力仪视场中，移动或旋转试样，使视场中出现亮度最大的干涉色，观察试样各部位的颜色。7.4磨口密封性将水盛入磨口透明石英玻璃器件中，在不涂油脂的情况下，将塞塞紧，使水完全浸润磨口，20s后，用滤纸擦拭，观察水液是否渗出。8检验规则8.1检验项目按第6 章的要求。8.2判定规则每件产品均需符合第6章中的所有要求，若有一项不合格，则判该件产品不合格。.2 JC/T 181--20119标志，包装、运输和贮存9.1标志9.1.1每批产品出厂时应附有产品合格证书，内容包括：a)产品分类(T或D)、产品名称;b)产品规格；生产批号；c)标准代号：(pe)检验员编号。9.1.2包装箱上应有储运图示标志，如“玻璃制品”、“小心轻放”、“请勿倒置”、“防潮”等字样或图形以及产品标记、厂名或商标。9.2包装产品