一种全自动IC平面固晶机的自动扩膜晶框机构.pdfVIP

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2023-07-28 发布于四川
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一种全自动IC平面固晶机的自动扩膜晶框机构.pdf

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本实用新型公开了一种全自动IC平面固晶机的自动扩膜晶框机构，包括移动平台、旋转驱动装置、扩膜组件以及加热组件，移动平台上设置有横向驱动装置和设置在横向驱动装置上端并被横向驱动装置驱动做横向移动的纵向驱动装置，旋转驱动装置设置在移动平台上，其上设置有旋转驱动机构；扩膜组件包括有扩膜驱动组件和扩膜环组件，扩膜环组件装设在旋转驱动机构的从动轮上，通过旋转机构驱动从动轮带动扩膜环组件做圆周运动，扩膜驱动组件设置在扩膜环组件旁侧且固定在安装座上，其驱动扩膜环组件上的扩膜装置做扩膜动作；加热组件其用于将承载

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209912891 U (45)授权公告日 2020.01.07 (21)申请号 20192