一种光掩膜版清洗用上下料机械手.pdfVIP

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2023-07-29 发布于四川
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一种光掩膜版清洗用上下料机械手.pdf

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本发明提供一种光掩膜版清洗用上下料机械手，涉及光掩膜版清洗用机械手技术领域，包括连接管和其底部安装的支撑基板，所述支撑基板的外侧壁上滑动套接有横向滑套，所述支撑基板的两侧均固接有双层支撑导轨，所述双层支撑导轨的外侧壁上均滑动套接有一号滑套，所述一号滑套的外侧壁上均铰接有可在双层支撑导轨上滑动的二号滑套，所述横向滑套与一号滑套的底部之间均固接有夹持气缸，通过上述技术方案，其目的在于，能够参与辅助光掩膜版的清洗工作，使其在清洗池中往复晃动，并在晃动的过程中利用喷射气体产生的气柱和大量气泡冲击光掩膜版

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116494270 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202310776940.9 (22)申请日 2023.06.29 (71)申请人苏州安田丰科技有限公司地址 2