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一种从三氟化氮生产尾气中回收三氟化氮的方法.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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一种从三氟化氮生产尾气中回收三氟化氮的方法.pdf

    本发明涉及一种从三氟化氮生产尾气中回收三氟化氮的方法，包括以下步骤：(1)三氟化氮冷阱生产尾气进入换热器与电解槽回水进行换热；(2)经换热后的物料进入裂解塔，裂解塔内部填装催化剂；生产尾气中多氟化物在裂解塔内充分裂解，多氟化氮转化率≥99.9％时裂解结束，裂解后物料组成包括三氟化氮、笑气、二氧化碳、氟化氢、氮气和氟气，多氟化物含量≤5ppm；(3)裂解后的物料经酸吸收塔、水环压缩机增压至0.2～0.4MPa进入除水塔；(4)进入收集冷阱，收集冷阱采用液氮进行降温，三氟化氮被冷凝后收集，不凝气从冷

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116495710 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202310452683.3 B01D 53/75 (2006.01) (22)申请日 2023.04.

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