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本发明公开了一种含空气桥芯片的SIP塑封件及其制作方法,方法包括将至少一个待封装芯片键合在基板上,形成第一半成品封装件;在目标芯片的外表面上进行点胶形成牺牲层,得到第二半成品封装件;目标芯片为含空气桥芯片;对第二半成品封装件进行塑封得到第三半成品封装件;在第三半成品封装件上进行钻孔形成贯穿牺牲层外表面的阵列孔,得到第四半成品封装件;阵列孔为牺牲层提供挥发通道,使得牺牲层通过阵列孔挥发后,目标芯片与第四半成品封装件的外表面之间形成空腔;对第四半成品封装件进行表面处理得到目标SIP塑封件。本发明能在
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116495697 A
(43)申请公布日 2023.07.28
(21)申请号 202310758622.X
(22)申请日 2023.06.26
(71)申请人 南京睿芯峰电子科
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