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本申请公开了一种硅片分选分流装置及分选分流的方法。其中,硅片分选分流装置包括:主传送带、若干侧向传送带、筛分机构、转移机构、控制器。主传送带用于输送待检测的硅片样品。侧向传送用于输送检测分类后的硅片样品。筛分机构用于对待检测的硅片样品进行检测分类。转移机构设于侧向传送带与主传送带连接的位置,具有不高于主传送带的初始状态和在驱动力的作用下抬升至主传送带的上方,以将检测分类后的一部分硅片样品输送至侧向传送带上的转移状态,转移机构处于转移状态时,其与主传送带之间形成允许另一部分硅片样品沿主传送带继续输
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116493296 A
(43)申请公布日 2023.07.28
(21)申请号 202310758655.4
(22)申请日 2023.06.26
(71)申请人 福建鲲曜科技有限公司
地址 36
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