一种基于表面等离激元的温度检测传感器.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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一种基于表面等离激元的温度检测传感器.pdf

本申请公开了一种基于表面等离激元的温度检测传感器,包所述传感器包括基底层和金属层;所述金属层设置在基底层的顶部,所述金属层的中下位置设置有均匀宽度的MIM波导,所述MIM波导上带有一个矩形腔,所述矩形腔在MIM波导上左右对称,所述金属层上设置有对应波MIM波导中心的圆环形的谐振腔,所述谐振腔位于MIM波导背离矩形腔的一侧,所述谐振腔内接有椭圆腔,所述椭圆腔的圆心与谐振腔的圆心同心设置,所述传感器以垂直平分线左右对称。本申请传感器具有简单的结构和优异的传感性能,通过设计不同结构尺寸并且在谐振腔与M

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116499605 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202310712316.2 (22)申请日 2023.06.15 (71)申请人 浙江水利水电学院 地址 3100

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