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- 2023-07-29 发布于四川
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本发明公开了一种金属化电容器薄膜的制备方法，具体为：设置脉冲电源参数：脉冲电源的平均功率密度设置为1～6W/cm2，脉冲宽度为30～60μs，频率为300～700Hz；薄膜沉积：将预处理后的聚丙烯薄膜固定在样品台上，依次打开机械泵和分子泵，往真空室内通入氩气，在对应工作气压下进行金属膜沉积，沉积完成后，取出制得的金属化电容器薄膜。本发明方法可以有效提高金属薄膜的致密度，致密度可达到97％，从而降低金属薄膜的方阻，进而有利于减小充放电过程的发热行为，一方面使金属化电容器薄膜能够应用在更高的环境温度
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116497311 A
(43)申请公布日 2023.07.28
(21)申请号 202310453202.0
(22)申请日 2023.04.25
(71)申请人 东南大学
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