一种晶体生长炉炉压稳定装置.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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本实用新型公开了一种晶体生长炉炉压稳定装置,涉及晶体生长炉装置技术领域;一种晶体生长炉炉压稳定装置,包括主炉体,主炉体的内部固定连接有压力管,压力管的侧部固定连接有压力表,压力管的侧部固定连接有压力控制阀,压力管远离主炉体的一端固定连接有净化管,净化管的顶端内部固定连接有雾状导液环,净化管的顶端固定连接有导液管,通过采用压力表查看内部压力,通过压力控制阀进行控制炉压,通过净化管进行吸气注气,通过导液管注液,通过雾状导液环使液体成雾状或滴状流下,将气体内部一些杂质吸附下降,通过采用活性炭吸附板进行

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219430188 U (45)授权公告日 2023.07.28 (21)申请号 202320383063.4 (22)申请日 2023.03.03 (73)专利权人 南京暾辉光电科技有限公司 地址

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