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2023-07-29 发布于四川
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极紫外光源.pdf

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本公开的实施例涉及极紫外光源。生成初始辐射脉冲；提取初始辐射脉冲的一段以形成修改辐射脉冲，修改辐射脉冲包括第一部分和第二部分，第一部分在时间上连接到第二部分，并且第一部分的最大能量小于第二部分的最大能量；修改辐射脉冲的第一部分与靶材相互作用以形成修改靶；并且修改辐射脉冲的第二部分与修改靶相互作用以生成发射极紫外(EUV)光的等离子体。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110784981 A (43)申请公布日 2020.02.11 (21)申请号 20191