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本发明提供一种形状记忆合金驱动元件，由形状记忆合金材料制得，包括驱动执行段和约束段，所述驱动执行段内的形状记忆合金具有晶体结构，所述约束段内的形状记忆合金具有非晶体/晶体复相结构。本发明进一步提供一种形状记忆合金驱动元件的加工工艺。本发明提供的一种形状记忆合金驱动元件，具有双重微观结构，可用于恒温阀、高温警报器等智能执行器件，实现毫米级至微米级的精确操控，为微电子器件、微创手术器械、微/纳级医疗机器人提供了关键元件材料。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114109752 A
(43)申请公布日 2022.03.01
(21)申请号 202111313598.6
(22)申请日 2021.11.08
(71)申请人 上海交通大学
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