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一种基于垂直液相外延的母液径向温度的测温工装及方法.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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一种基于垂直液相外延的母液径向温度的测温工装及方法.pdf

    本发明涉及垂直浸渍液相外延的工艺技术领域，具体为一种基于垂直液相外延的母液径向温度的测温工装及方法，本发明中，测温元件可以灵活的深入带有弯曲的石英管中，通过上下移动热偶达到径向测温的目的。该工装设计避免了石墨样品架的热传导的影响，使垂直液相外延母液的测温更精准，更广泛。节省了工艺操作时间，提高了工作效率。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116499599 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202211577231.X (22)申请日 2022.12.09 (71)申请人 安徽光智科技有限公司 地址 23

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