泄露检测器.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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本发明的课题在于在将从试验体(W)泄露的氢气导入至分析管(100)进行检测的泄露检测器(X)中,使背景容易稳定化,且大幅度缩短背景恢复所花费的时间,能够在短时间内获得充分的测定精度。分析管(100)包括:离子源部(1),使导入至其内部的氢气离子化而生成氢离子;离子收集器部(2),检测氢离子的电流量;以及再流入抑制结构(71)、再流入抑制结构(72)、再流入抑制结构(73),抑制在离子收集器部(2)中从离子变为无电荷的氢气再流入离子源部(1)。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116499649 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202211579402.2 (22)申请日 2022.12.09 (30)优先权数据 2022-010826 202

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