XB_T 512-2020CN镝、铽金属靶材.pdf

ICS 77. 120. 99XBS9 H中华人民共和国稀土行业标准XB/T512—2020镝、铖金属靶材Dysprosium, terbium metal targets2020-12-09发布2021-04-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 XB/T 512—2020前言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草，本标准由全国稀土标准化技术委员会（SAC/TC229)提出并归口，本标准起草单位：包头稀土研究院、湖南稀土金属材料研究院有限责任公司、国合通用测试评价认证股份公司、度东稀土集团股份有限公司、江苏金石稀土有限公司、福建省长汀金龙稀土有限公司、信丰县包钢新利稀土有限责任公司、厦门稀土材料研究所。本标准主要起草人：李静雅、刘威、刘小鱼、解萍、刘荣丽、鲁飞、姚南红、章立志、夏雯、刘志勇、刘树峰、李慧、孙良成、郑天仓、张永健、张相良、杨帆。 XB/T 512—2020、铖金属靶材1范围本标准规定了确、试金属乾材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量证明书本标准适用于真空冶炼法制得的锅、试金属靶材，主要用于制各收饮确磁控数射镀膜等。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注目期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其量最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件，GJB1580A变形金属超声检测方法GB/T6060.1表面粗糙度比较样块第1部分：铸造表面GB/T 6394金属平均晶粒度测定方法GB/T 8170数值修约规则与极限数值的表示与判定GB/T12690(所有部分）稀土金属及其氧化物中非帮土杂质化学分析方法GB/T 14635稀土金属及其化合物化学分析方法稀土总量的测定GB/T 15056铸造表面粗髓度评定方法GB/T 18115. 8稀土金属及其氧化物中稀土杂质化学分析方法敏中钢、饰、错、、诊、销、、俩、钦、饵、锤、镜、铬和钇量的测定GB/T 18115. 9稀土金属及其氧化物中稀土杂质化学分析方法铸中镧、、错、钕、乡、销、、钛、铁、饵、锤、镜、错和忆量的测定GB/T 25915.1—2010洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等缆3要求3.1产品分类3.1.1牌号产品接化学成分分为T-Dy-4N、T-Dy-3N、T-Dy-2N、T-Tb-4N、T-Tb-3N、T-Tb-2N六个牌号。3.1.2牌号表示方法铺、就金属靶材牌号共分三个层次，其中第一层次用靶材的英文首字母“T表示；第二层次表示产品类别，用元素符号表示，第三层次表示产品的级别（规格），采用其稀土相对纯度（质量分数)来表示，当产品稀土相对纯度（质量分数)不小于99%时，则用质量分数中“9的个数加N来表示(N为数字9的英文首字母），如99%用2N表示，具体表示方法如下；1 XB/T 512—2020T - Dy - XNT - Tb - XN金属的稀土相对纯度金属的稀土相对纯度x为阿拉伯数子X为阿控旧数字金属镇金属然祀材产品靴材产品示例：T-Dy-2N表示相对纯度99%的销金属靶材产品；T-Tb-4N表示相对纯度99.99%的试金属靶材产品。3.2化学成分铺金属靶材产品的化学成分应符合表1的规定。钛金属靶材产品的化学成分应符合表2的规定需方如有特殊要求，供需双方可另行协商。表1镐金属靶材产品化学成分产品牌号T-Dy-4NT-Dy-3NT-Dy-2NDy,不小于99. 099. 099, 0Dy/RE,不小手99, 9999. 999, 0释土杂质合量/RE，不大于0, 010. 11. 0Fe0. 050, 050. 05Si0. 050. 060, 05Mg0. 020. 020. 02化学成分Al0. 030. 030. 03(质量分数）杂质含量，Ca0. 030. 030. 03/%不大于非稀土IN0, 0050. 0050. 005杂质Cu0, 0050, 0050, 005c0. 020. 020. 020. 010. 010. 010. 1 0. 10. 1N0. 050. 050. 05Ta(或 Mo,W)0, 10. 10, 1表2金属靶材化学成分T-Tb-4NT-Tb-3NT-Tb-2NTb,不小于99. 099. 099. 0Tb/RE,不小于99, 9999. 999. 0稀土杂质合量/RE，不大于0. 010. 11. 0Fe0. 050. 050. 05IS0. 050. 050. 05Mg0. 020. 020. 02化学成分Al0. 030. 030. 03(质量分数)杂质含量，Ca0. 030. 030. 03/%不大于非稀土Ni0. 0050, 0050, 005杂质Cu0, 0050, 0050. 005c0. 02 0. 02 0. 02s