原创力文档- 1
- 0
- 约5.75千字
- 约 6页
- 2023-07-31 发布于四川
- 举报
本实用新型公开了一种光刻机的取片装置，包括第一支撑板，第一支撑板的顶端侧壁固定有垂直设置的第二支撑板，第二支撑板的顶端侧壁固定有气缸，气缸的活塞杆穿过第二支撑板固定有滑板，且滑板的一端在第一支撑板侧壁滑动连接，滑板的底端侧壁滑动连接有滑块，滑块远离滑板的一端固定有第三支撑板，第三支撑板的底端两侧固定有对称设置的固定板，其中一个固定板的一侧侧壁固定有步进电机，步进电机的输出轴通过联轴器固定有转轴。本实用新型能够对不同大小的基片进行自动夹持取片，提高了实用性，而且能够对基片进行送出，提高了便捷性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209939858 U
(45)授权公告日
2020.01.14
(21)申请号 20192
文档评论（0）