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一种同心度检测工具.pdfVIP

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  • 2023-07-31 发布于四川
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一种同心度检测工具.pdf

    本实用新型公开了一种同心度检测工具，用以检测单晶炉内热场装置的同心度，包括用以设于坩埚轴顶端并沿垂向延伸的支撑轴；设于所述支撑轴的顶端、用以指向热场装置内壁面的检测杆；其中，所述支撑轴与所述检测杆的第一端固定连接；所述支撑轴的延伸方向与所述检测杆的延伸方向垂直。上述同心度检测工具使用方便，能够准确地判断热场装置的同心度，解决了热场装置安装效率低的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209945280 U (45)授权公告日 2020.01.14 (21)申请号 20192

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