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一种电光源气体配气装置.pdfVIP

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  • 2023-07-31 发布于四川
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一种电光源气体配气装置.pdf

    本实用新型提出一种电光源气体配气装置，包括真空泵、底板、氪气纯化器、管道和阀门；其特征在于：所述管道包括氮气管道、氩气管道、成品气管道、氙气管道、氪气管道、卤素管道、磷烷管道、硅烷管道、排空管道、旁通管道一和旁通管道二；所述旁通管道一与成品气管道之间连接有旁通管道二。所述真空泵与旁通管道1相连接；所述旁通管道上安装有压力百分表和真空计显示器；所述氪气管道上连接有氪气纯化器；所述成品器管道上连接有注射口阀。本实用新型结构简单，能够实现多种类别的气体进行配气，节约成本，节省场地。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209947787 U (45)授权公告日 2020.01.14 (21)申请号 20192

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