SEM和EDS的现代分析测试方法.pptxVIP

SEM和EDS的现代分析测试方法材料的现代分析测试方法第一章 扫描电子显微镜(SEM)第一节 概述第二节　电子束与固体样品　相互作用一、背散射电子二、二次电子三、吸收电子四、透射电子五、特征Ｘ射线六、俄歇电子七、阴极荧光八、电子束感生电效应　１、电子束感生电导信号　２、电子束感生电压信号第三节 SEM工作原理第四节 SEM的构造一、 电子光学系统组成: 电子枪, 电磁聚光镜, 光阑, 样品室等、作用: 用来获得扫描电子束, 作为 使样品产生各种物理信号的 激发源、1、 电子枪2、 聚光镜(电磁透镜)3、 光阑4、 样品室用于SEM的电子枪有两种类型热电子发射型: 普通热阴极三极电子枪 六硼化镧阴极电子枪 场发射电子枪: 冷场发射型电子枪 热场发射型电子枪几种类型电子枪性能二、 扫描系统组成: 扫描信号发生器、放大控制器等 电子学线路和相应的扫描线圈。作用: 提供入射电子束在样品表面上以 及阴极射线管电子束在荧光屏上 的同步扫描信号; 改变入射电子 束在样品表面扫描振幅,以获得 所需放大倍数的扫描像。三、 信号检测放大系统作用:检测样品在入射电子束作 用下产生的物理信号,然 后经视频放大,作为显象 系统的调制信号。检测器类型1、 电子检测器:由闪烁体、光导管和光电倍增器组成。2、 阴极荧光检测器:由光导管、光电倍增器组成。3、 X射线检测系统:由