《扩散炉能源消耗规范（征求意见稿）》.pdfVIP

ICS31-550 L 01 SJ 备案号： 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 SJ/T 11451-20XX 扩散炉能源消耗规范 Specification for energy consumption norm of diffusion furnace 202X - XX - XX发布 202X - XX - XX实施 中华人民共和 国工业和信息化部 发 布 SJ/T XXXXX-202X 1 范围 本标准规定了扩散炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。 本标准适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400 ℃～1350 ℃的扩散/氧化、退火、 合金工艺使用的扩散炉。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是