一种溴化铊半导体单晶的生长方法及设备.pdfVIP

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  • 2023-08-02 发布于四川
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一种溴化铊半导体单晶的生长方法及设备.pdf

本发明公开了一种溴化铊半导体单晶的生长方法及设备,包括上炉膛,隔热板,下炉膛,底托,支撑杆和石英坩埚,通过特殊的骤变温场结构及籽晶坩埚的设计,实现了大尺寸、高质量的晶体毛坯的生长,直径可达到64mm,晶片的能谱测试结果Cs‑137放射源的能量分辨率为1.87%,Co‑57放射源的能量分辨率为4.62%。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116516461 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310339849.0 (22)申请日 2018.11.22 (62)分案原申请数据 201811397346.4

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