1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

热丝馈入装置以及卧式HWCVD设备.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.3万字
  • 约 12页
  • 2023-08-02 发布于四川
  • 举报

热丝馈入装置以及卧式HWCVD设备.pdf

    本实用新型公开了热丝馈入装置以及卧式HWCVD设备。其中，该热丝馈入装置包括：两个紧固件，分别被安装到卧式HWCVD设备的镀膜腔的竖直方向的上部，所述紧固件具有热丝安装部和电源馈入部，所述热丝安装部设置为：在所述紧固件被安装到所述镀膜腔的竖直方向的上部的情况下，所述热丝安装部位于所述紧固件的竖直方向的下端；热丝，具有两个连接端部和中间部，两个所述连接端部分别相对于所述中间部被弯折；两个所述连接端部分别被紧固到所述热丝安装部，并经由所述电源馈入部与电源电连接；所述中间部在所述镀膜腔的竖直方向的上部

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219449865 U (45)授权公告日 2023.08.01 (21)申请号 202320232037.1 (22)申请日 2023.02.02 (73)专利权人 深圳市捷佳伟创新能源装备股份

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >