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本发明公开一种基于LIBS的薄膜厚度表征方法，该方法所用装置包括安装在实验台上的三维压电平台、一维升降平台和光谱仪，三维压电平台后方设有相机支架，相机支架顶端安装有超景深相机，超景深相机上连接有二向色镜组，二向色镜组上连接有显微透镜，该显微透镜位于三维压电平台正上方；二向色镜组包括三个依序连接的二向色镜头，位于顶部的二向色镜头侧部连接有补充照明光源，位于中间的二向色镜头侧部连接有扩束镜，位于底部的二向色镜头侧部连接有聚焦透镜，聚焦透镜上插设有光纤探头，光纤探头与光谱仪连接；一维升降平台上安装有激
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116518857 A
(43)申请公布日 2023.08.01
(21)申请号 202310520205.1
(22)申请日 2023.05.10
(71)申请人 西北师范大学
地址 730070
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