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减振结构及其装置和在MicroLED检测设备的用途，减振结构，包括：外座、中心座、柔性铰链和颗粒阻塞机构；阻塞腔内设有颗粒件；活塞可复位移动地限位于主压段，用于压制颗粒件；从压段的一端连通于主压段，从压段的另一端连接于其中一段自适调节部；同一个柔性铰链对应设置有多个长度不同的阻塞管。减振装置，其将多个减振结构以圆周阵列方式分布于下平台。本申请提供一种阻尼与柔度自适应变化的减振结构，其通过颗粒阻塞机构的活塞活动于阻塞腔，以将阻塞腔的颗粒件压制，结合多个长度不同的阻塞管调节阻尼和柔度，从而实现减振结
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116518010 A
(43)申请公布日 2023.08.01
(21)申请号 202310521791.1
(22)申请日 2023.05.10
(71)申请人 广东工业大学
地址 510062
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