原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种高响应度气体传感器气敏颗粒加载系统及方法，其中，方法包括以下步骤：化学浴沉积前驱液配置：将至少两种或两种以上的能够基于反应获得气敏颗粒的化合物溶于醇溶液；加热条件下将前驱液的上清液移除以增加气敏颗粒的浓度；气敏颗粒薄膜沉积：基于前驱液采用水热法在氧化铝模板上生长气敏颗粒薄膜；基于第一方法下的旋涂法鼓励所述氧化铝模板上的气敏颗粒形成具有小尺寸的气敏颗粒且膜厚度分布均匀的气敏颗粒薄膜。本发明通过旋涂法限制气敏颗粒在沉积过程中发生团聚，且将多余的气敏颗粒和醇溶液在离心力作用下从纳米管管口
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116516322 A
(43)申请公布日 2023.08.01
(21)申请号 202310174380.X
(22)申请日 2023.02.24
(66)本国优先权数据
202210179981.5
文档评论（0）