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本实用新型公开了一种微细超声加工系统,包括运动控制系统、运动装置、加工装置、超声波电源和真空系统,所述运动装置包括微三维运动设备、旋转设备和加工主轴,所述微三维运动设备与旋转设备相连接,所述加工主轴上设有工具,所述微三维运动设备、旋转设备和加工主轴分别与运动控制系统相连接;所述加工装置包括工作液槽和设于工作液槽上的加工平台装置,所述加工平台装置包括加工平台和设于加工平台内的超声换能器,所述加工平台内设有上下贯通的第一通孔。采用本实用新型,避免工件变形,避免工具振动和主轴多次拆装,提高加工精度,且
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209970283 U
(45)授权公告日
2020.01.21
(21)申请号 20192
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