基于铁电薄膜的负微分电容行为研究.docxVIP

PAGE 1 PAGE 1 摘要 PAGE 2 基于铁电薄膜的负微分电容行为研究 基于铁电薄膜的负微分电容行为研究 PAGE 1 摘要 我们知道薄膜的生长与温度这一条件的关系密切，温度的高低，影响着薄膜生长的择优取向与结晶程度，所以本文中在实验中着重分析了温度这一因素在氧化铪薄膜的制备过程中究竟有哪些影响。另外，除了温度这一宏观调控之外，我们还从微观的角度出发，在薄膜材料中掺杂少数的铝元素，探究其对薄膜材料的负电容效应的的影响。 由于铁电薄膜材料的负电容效应受到温度直接影响，所以我们对于一定厚度的铁电薄膜的集体管，选取多个温度进行调控，直至选出一个最佳的。最终我们发现，一旦温