TiO2薄膜的制备及其MIT特性研究的开题报告.docxVIP

TiO2薄膜的制备及其MIT特性研究的开题报告 一、研究背景及意义： 钛酸钛（TiO2）是一种重要的半导体材料，具有广泛的应用场景，如太阳能电池、光催化等。众所周知，TiO2材料的导电性在室温下较差，但可通过掺杂等方法提高。在TiO2的过渡温度点（MIT点）处，将会出现电阻剧烈的变化，通过研究其物理机制和调制其电学性能，可探索出更多的应用。 二、研究内容： 本课题旨在制备TiO2薄膜，并研究其在不同条件下的导电性能，探究其MIT特性。预计将从以下几个方面展开研究： 1. TiO2薄膜的制备方法优化：采用化学气相沉积（CVD）或热氧化（TO）等方法制备TiO2薄膜，并优化制备条件，控制薄膜的质量和厚度。 2. TiO2薄膜的结构表征：利用X射线衍射仪（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）等方法对样品进行结构和表面形貌的表征，对比不同条件下的样品特征。 3. TiO2薄膜的电学性质研究：通过四点探针法对不同条件下的样品进行电学性能测试，探究其导电性能随温度、氧气气氛等条件的变化。 4. 探究TiO2的MIT特性：通过温度依赖的电学测试，探究TiO2在MIT点处的电学特性，推导出其MIT特性方程，探究其物理机制。 三、研究方法和技术路线： 1. 制备TiO2薄膜：采用化学气相沉积和热氧化方法制备TiO2薄膜，并控制制备条件，如反应温度、气氛等。 2. 结构表征：采用X射线衍射仪和扫描电子显微镜等对样品进行表征。 3. 电学测试：采用四点探针法对TiO2薄膜的电学性能进行测试，记录其电阻率随温度、氧气气氛等条件的变化。 4. MIT特性研究：通过电阻率随温度的变化研究TiO2的MIT特性，推导其MIT特性方程。 四、预期成果： 预计获得一批制备优质TiO2薄膜的技术方法和实验数据，并探究其在温度和气氛条件下的导电性变化规律，推导出TiO2的MIT特性方程，深入探究TiO2的物理机制。这些成果将为未来TiO2材料在太阳能电池和光催化等领域的应用提供参考和指导。