SJT 10535-1994半导体器件用钨舟.pdf

L 90SJ中华人民共和国电子行业标准SJ/T 10535--94半导体器件用钨舟Tungsten boat for semiconductor devices1994-12-01实施1994-08-08发布中华人民共和国电子工业部•发•布 中华人民共和国电子行业标准SJ/T 10535—94半导体器件用钨舟Tungsten boat for semiconductor devices1 主题内容与适用范围1.1本标准规定了半导体器件用钨舟的牌号、型号、规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。1.2本标推适用于耐高温、离纯度、高密度的钨板（片)材制作的各种形状的钨舟及工装舟血。2 引用标准钨板GB 3875钨丝GB 4181GB 4196钨、钼条密度测定方法GB 4342.1~. 30钨化学分析方法3 产品分类3.1钨舟牌号：以*钨舟两安的汉语拼音字母 WZO 命名。3.2钨舟的型号：钨舟型号用V、“U表示，其中每型号下的不同种类用 I、I、直.表示,如V-I表示 V型有压边,V-I表示无压边(见表1)。3.3钨舟规格用数字表示如-03-15,其中03表示舟壁厚度，15”表示舟宽。3.4钨舟牌号、型号、种类与规格示例：Wzo --Y-(WZO-V- I -03-15)IXY舟宽(mm)舟壁厚(mm)雪钨舟种类钨舟型号钨舟牌号中华人民共和国电子工业部1994-08-08 批准1994-12-01实施1 SJ/T 10535--94表示牌号为WZOV型无压边，舟壁厚度为0.3mm，舟宽为15mm的钨舟。3.5钨舟牌号、型号与用途见表1。表 1途牌号用型号与种类wZoV-1,有压边金属及非金属，真空蒸镀，电子束溅散蒸镀，金属材料高温通火、烧结，电真空器件光学玻璃、铬版等表面覆层，复台材料用舟血。V-1,无压边U-I,圆型U-N,圆形4 技术要求4.1化学成分化学成分按GB4181中W,牌号。4.2规格尺寸规格尺寸按表2（如有特殊要求可由供需双方协商）。表2尺寸牌号、型号、种类及规格厚度↑宽度 B总长L舟长1深度h20100Wz().V- I -04-200. 4W20-V- I -05-200. 520100903W20-V- 1 -06-240.624120WZO-V- I -03-1515550WA0-V- I -03-050.31102. 5~~3WZ0-V- I -03-077Wz0-U-I -03-160. 31630WZO-U- I -03-240.32450~110363WZ(0-U- I -04-16300. 416WZO-U- N-05-2626220.524203WZ0-U- N -05-240.550~10020WZO-U- N -04-240. 4244.3密度金属的密度为19.0g/cm²。4.4钨舟个重根据用户要求协商解决。4.5熔点熔点为3300℃。4.6表面质量2↓ SJ/T 10535--944.6.1钨舟应洁净，呈银白色金属光泽，允许舟Ⅲ表面有轻微的氧化色，但不得有大面积深色及黑班点，电解抛光钨舟允许有小于2mm面积的未抛光点一处。4.6.2坞舟表面不应有开裂、分层、龟裂、缺边及掉角现象。舟的各种部位不应有毛刺。4.7物理性能承制方选用的钨板的物理性能应符合GB3875的要求。5 试验方法5.1钨舟的化学成分4.1条按GB4324.1～.30中有关标准进行分析。5.2钨舟的规格尺寸4.2条用精度为0.02mm和0.01mm的卡尺和千分尺进行测量。5.3钨舟的密度4.3条按GB4196进行测量。5.4钨舟的重量（个）4.4条用感量为0.2g的天平进行称量。5.5钨舟的熔点4.5条的测量，在钨舟化学成分合格的条件下可以不进行测量。5.6钨舟的表面质量4.6条用目视进行检查。6 检验规则6.1检验批检验批必须由间-成分、同一工艺、连续生产的同一种类的产品组成。6.2 交收检验6.2.1产品应由供方检验部门，按本标准要求进行检验，保证产品符合本标准的要求。6.2.2需方在收到产品之日起，两个月内按本标准进行验收，如果复验结果与本标准规定不符合时，由供需双方协商解决。6.3抽样方案与判定规则6.3.1化学成分的检验，在每一批料中随机抽取一个样品进行化学成分的分析，如不符合要求，另加倍取样进行分析，取其平均值，如仍不符合要求，则该批料为不合格。6.3.2钨舟的规格尺寸进行百分之进的检验。6.3.3钨舟的密度的检验;在每一批料中任取一个试样进行密度测量。如果不合格，则三倍取样进行测定，如其中两个样品不合格，则该批料为不合格。6.3.4钨舟单个重量的检验应从100只舟血中随机抽取一个样品进行测定，如不合格，则三倍取样进行测定，如果三个试样中，有两个不合格，则该100只舟皿为不合格。6.3.5