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- 2023-08-06 发布于北京
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碳化硅纳米棒水热法制备的研究
摘要:介绍了碳化硅纳米棒在制备技术方面的进展,综述了碳化硅纳米棒四种生长机理(VLS、VS、SLS、
OAG),以及在以四种生长机理为基本的制备方法,即化学气相沉积、碳化硅粉末高温合成法、激光烧蚀、电弧放电、聚合物催化热解合成等,对各种方法的优缺点进行粗略叙述,着重介绍了水热合成一维碳化硅纳米棒,为科研人员进一步开拓碳化硅纳米棒提供一定参考。
关键词:碳化硅纳米棒;制备方法;生长模式;电子器件;水热法
1 引言
碳化硅是一种典型的、具备代表性的半导体材料,在半导体器件的应用中有着极其重要的作用[1]。当材料尺度达到纳米级别后,随之会出现一系列物理效应,如
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