原创力文档- 3
- 0
- 约7.73千字
- 约 8页
- 2023-08-05 发布于四川
- 举报
本实用新型提供了一种晶圆转移装置，包括移动模块以及设置于所述移动模块上的多个夹持端，多个所述夹持端围合成一虚拟圆，且所述夹持端能够沿所述虚拟圆的径向运动以夹紧或松开所述晶圆。接收晶圆后，所述夹持端朝靠近所述虚拟圆中心的方向运动以夹紧所述晶圆，保证所述晶圆在传送过程中不会产生偏移，在释放晶圆时，所述夹持端朝远离所述虚拟圆中心的方向运动以松开所述晶圆，从而保证所述晶圆在转移过程中不会发生偏移，以使晶圆的中心能够对准预定中心位置，不会影响下一工艺的加工质量，进而提高晶圆良率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209993585 U
(45)授权公告日
2020.01.24
(21)申请号 20192
文档评论（0）