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用于光学装置的边缘黑化.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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用于光学装置的边缘黑化.pdf

    提供一种光学装置涂布组件。该光学装置涂布组件包括基板支撑件，其可操作以保持光学装置基板。该涂布组件进一步包括连接至基板支撑件的第一致动器。第一致动器被配置为使基板支撑件旋转。该涂布组件包括固持器，其被配置为在光学装置基板在基板支撑件上旋转时将涂层涂覆器固持为抵靠光学装置基板的边缘；及第二致动器，其可操作以在朝向基板支撑件的方向上在该固持器上施加力。第二致动器为恒力致动器。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116547084 A (43)申请公布日 2023.08.04 (21)申请号 202180079166.5 (74)专利代理机构 上海弼兴律师事务所 31283

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