1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

薄膜体声波谐振器.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约9.53千字
  • 约 8页
  • 2023-08-05 发布于四川
  • 举报

薄膜体声波谐振器.pdf

    本实用新型提供一种薄膜体声波谐振器，包括：基板，硅结构层，至少一组纵向布拉格反射栅，压电堆叠结构以及至少一组横向反射栅。其中，各组纵向布拉格反射栅沿基板的厚度方向依次层叠设置在基板承载面上，纵向布拉格反射栅沿长度方向一端与硅结构层相接，每组纵向布拉格反射栅均包括至少两层具有不同声阻抗的薄膜材料层，此外，至少一组横向反射栅的各组横向反射栅均设置在压电堆叠结构的边缘区域，且各组横向反射栅沿基板的长度方向交替设置。本实用新型提供的薄膜体声波谐振器在横向与纵向上均设置反射栅，有利于将声波能量限制在器件有

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209994354 U (45)授权公告日 2020.01.24 (21)申请号 20192

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >