原创力文档- 1
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- 2023-08-05 发布于四川
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本发明提供一种用于硅片检测系统的接片机构，包括接片盒、吹气装置和移动装置，接片盒设于移动装置上，接片盒的用于盛装硅片的表面与硅片下落的方向倾斜相交设置，以使得硅片进入接片盒后对齐；移动装置滑动设于机架上，吹气装置设于机架上，且吹气装置与硅片夹取机械手相对应，对硅片进行吹气，便于硅片倾斜进入接片盒内，进行对齐。本发明的有益效果是具有呈倾斜状态的盛装底板，具有第一阻挡部和第二阻挡部，落在盛装底板上的硅片在自身重力作用下向第一阻挡部和第二阻挡部方向移动，被第一阻挡部与第二阻挡部阻挡，使得硅片的边缘自动
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116534384 A
(43)申请公布日 2023.08.04
(21)申请号 202210092577.4
(22)申请日 2022.01.26
(71)申请人 天津市环欧新能源
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