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一种基于光纤通道的微悬臂梁阵列循环扫描系统.pdfVIP

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  • 2023-08-06 发布于四川
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一种基于光纤通道的微悬臂梁阵列循环扫描系统.pdf

    本实用新型涉及一种基于光纤通道的微悬臂梁阵列循环扫描系统，其特征是：包括激光器、光纤、激光头、电机、摆臂、光纤通道、微悬臂梁阵列、基体夹持台、光电位置敏感探测器、数据采集卡、计算机；所述激光器通过光纤与激光头相连，所述激光头通过摆臂与电机相连，所述激光头前方放置光纤通道，所述微悬臂梁阵列固定在基体夹持台上，所述微悬臂梁阵列斜上方安装有光电位置敏感探测器，所述光电位置敏感探测器与数据采集卡连接，所述数据采集卡与计算机连接；本实用新型利用电机带动摆臂上的激光头做圆周运动，使激光光束通过光纤通道从M个

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210015122 U (45)授权公告日 2020.02.04 (21)申请号 20192

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