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腐蚀清洗机抛动行程机构.pdfVIP

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  • 2023-08-06 发布于四川
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腐蚀清洗机抛动行程机构.pdf

    本实用新型属于半导体芯片加工设备领域，具体涉及一种腐蚀清洗机抛动行程机构，解决了现有技术中去应力腐蚀机的芯片腐蚀不均匀的缺陷，其上下滑动轴固定在运行连接件上，连接杆的一端与上下滑动轴固定连接，另一端与转动传导件固定连接，转动传导件轮芯与转动轴固定连接；导向轴支座固定在运行连接件上，直线轴承固定座固定在支架上，导向轴承主体位于直线轴承固定座的通道内。本实用新型结构可以控制芯片在转动的过程中上下抛动，便于芯片更好的处理，且该结构密封效果好，动力部分不会遭到腐蚀，使用寿命长。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210006697 U (45)授权公告日 2020.01.31 (21)申请号 20192

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